Спиральный безмасляный насос ISP-90
Формирование исходных данных для расчета Описание установки Вакуумная установка является достаточно универсальным устройством для нанесения тонкопленочных покрытий различного функционального назначения, в частности твердых нанокомпозитных. Установка включает следующие функциональные блоки: · Рабочая камера · Система безмасляной вакуумной откачки · Система охлаждения · Система газораспределения · Система измерения давления · Система позиционирования образцов · Система нагрева и контроля температуры образцов · Технологические источники (несбалансированные магнетроны, ионные источники) · Источники питания (магнетронов, ионных источников, нагрева, смещения подложки) · Пульт управления с персональным компьютером Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали в виде цилиндра с боковым проемом, закрываемым дверью и водоохлаждаемыми стенками.
Технические параметры рабочей камеры:
Система замкнутого охлаждения обеспечиваетохлаждение технологических источников и вакуумной камеры и включает 4 канала. В состав системы охлаждения входят: система распределения воды и трубопроводы, датчики протока и термореле, клапаны для обеспечения дистанционного включения охлаждения, теплообменник с воздушным охлаждением. В состав системы газораспределения входят: регуляторы расхода газа, клапаны и трубопроводы для распределения потоков рабочих газов в вакуумной камере. В вакуумной камере расположена система позиционирования образцов. Количество устанавливаемых на манипулятор образцов размером Ø 200 х 400 мм - 4 шт. Манипулятор имеет 12 гнезд для установки образцов размером Ø 80 х 400 мм. Система перемещения позволяет изменять скорость и направление вращения подложки, а также сканирование (перемещение вперед-назад) возле заданного технологического устройства с высокой точностью. В состав системы позиционирования входят: манипулятор, электромеханический привод, магнитная муфта ввода вращения, блок управления В вакуумной камере установлена система нагрева и контроля температуры. Система позволяет нагревать обрабатываемые образцы до температуры от 100 до 400 0С и поддерживать необходимую температуру в процессе нанесения покрытий с точностью ± 5 0С. Установка оснащена двумя несбалансированными магнетронными распылительными системами и двумя ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов. Управление технологической установкой осуществляется от персонального компьютера в автоматическом или ручном режиме
Спиральный безмасляный насос ISP-90
Применение Вакуумные насосы Anest Iwata модели ISP-90 используются сегодня во многих областях:
Преимущества • полное отсутствие какого-либо потока масла в вакуумную систему; • отсутствие генерации частиц износа; • низкий уровень пульсаций и шума, практически отсутствует вибрация; • хорошо сбалансированный рабочий механизм, который требует минимального пускового момента и выделяет минимум тепла при работе; • малый вес, компактность и воздушное охлаждение насосов позволяют использовать их во многих приложениях, включая те, которые не могут быть реализованы с помощью традиционных насосов; • высокая надежность, достигаемая за счет внедрения новых инженерных достижений (к последним внедрениям можно отнести улучшенную систему Air Flush удаления влаги и частиц из внутренней полости насоса, значительно увеличивающую ресурс подшипников, и технологии уплотнения вала и подшипников); • стабильная производительность в широком диапазоне рабочих давлений. • интервал сервисного обслуживания до 16'000 часов (в сравнении с 8'000 часами у других производителей).
Крионасос CVP 25 Насос CVP 25 – сертифицированный (CE и SEMI) высокопроизводительный крионасос, предназначенный для использования в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, анализе состояния поверхностей носителей, а так же для различных исследований в высоком вакууме. Насос предлагается в двух различных исполнениях – стандартном и с быстрой регенерацией («Q»), а так же может быть снабжен фланцем по спецификации заказчика. Насос с опцией «Q» оснащен датчиком Пирани, продувочным клапаном, клапаном предварительной откачки и предохранительным клапаном, двухступенчатыми нагревателями и датчиками температуры.
Популярное: Организация как механизм и форма жизни коллектива: Организация не сможет достичь поставленных целей без соответствующей внутренней... Почему человек чувствует себя несчастным?: Для начала определим, что такое несчастье. Несчастьем мы будем считать психологическое состояние... Личность ребенка как объект и субъект в образовательной технологии: В настоящее время в России идет становление новой системы образования, ориентированного на вхождение... ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (700)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |