Мегаобучалка Главная | О нас | Обратная связь  


Порядок выполнения работы. Включить тумблеры блока питания ЛЭФ-2, блока питания источника – лазера




 

Включить тумблеры блока питания ЛЭФ-2, блока питания источника – лазера, милливольтметр, подсветку поляризатора – анализатора, модулятор. Положить на предметный столик образец. Отрегулировать столик с образцом таким образом, чтобы отраженный луч падал в центр диафрагмы плеча анализатора (11). Измерения проводятся в двух зонах.

Вращая маховички лимбов поляризатора (Р) и анализатора (А), добиться минимума яркости светового пятна на экране приемника. Открыть отверстие в диафрагме перед ЛЭФ-2 для чего следует повернуть круглую ручку по часовой стрелке до щелчка. Вращая одновременно маховички Р и А, добиться минимума напряжения на милливольтметре. Записать в рабочий журнал значение Р и А с экранов световых табло поляризатора и анализатора. Эти значения соответствуют измерениям в одной из двух эллипсометрических зон.

Закрыть диафрагму перед ФЭУ. Повернуть поляризатор примерно на (+90о) или (-90о) относительно положения, установленного выше. Далее повторить действия, описанные выше и найти значения Р и А, соответствующие другой эллипсометрической зоне.

Дале устанавливаются эллипсометрические зоны таким образом. Если значение А находится в диапазоне 18о45 ¸ 108о45’, то оно соответствует 1-ой зоне и тогда А®А1, Р®Р1. Если А в диапазоне 108о45 ¸ 198о45’, измеренные значения Р и А во второй зоне и А®А2, Р®Р2.

Эллипсометрический параметр Y находится по формуле:

(3)

Используя таблицу значений D0 1,2 рассчитать значения параметра D по формуле:

, (4)

где Р0 – табличное значение, для которого рассчитан D0; D0 1 – табличный параметр эллиптичности D0 для Р0 в первой зоне; D0 2 – табличный параметр эллиптичности D0 для Р0 во второй зоне;

Найти среднее значение D по формуле:

(5)

По общей номограмме определить номер листа номограммы для нахождения показателя преломления (n) и толщины пленки (d). По соответствующему листу номограммы определить показатель преломления пленки, рассчитать значение толщины и записать в журнал.

 

Содержание отчета

 

Содержание отчета должно включать: цель работы, описание методики и установки, описание проведения работы, обработку измерений, анализ результатов работы.

Анализ результатов работы:

- Нахождение значений эллипсометрического параметра D в первой зоне по измеренным Р и А.

- Нахождение значений эллипсометрического параметра D во второй зоне по измеренным Р и А.

- Расчет значений D и Y.

- Определение по номограмме для найденных значений D и Y - параметров пленки n и d (показателя преломления и толщины).

 

4.5. Контрольные вопросы и задания.

 

1. Основные области применения метода эллипсометрии в полупроводниковом производстве?

2. Основное уравнение эллипсометрии и способ его решения для системы полупроводник – диэлектрическая пленка?

3. Как меняется состояние поляризации света в процессе прохождения луча от источника до приемника при наличии образца?

 




Читайте также:
Как вы ведете себя при стрессе?: Вы можете самостоятельно управлять стрессом! Каждый из нас имеет право и возможность уменьшить его воздействие на нас...
Личность ребенка как объект и субъект в образовательной технологии: В настоящее время в России идет становление новой системы образования, ориентированного на вхождение...
Как построить свою речь (словесное оформление): При подготовке публичного выступления перед оратором возникает вопрос, как лучше словесно оформить свою...
Модели организации как закрытой, открытой, частично открытой системы: Закрытая система имеет жесткие фиксированные границы, ее действия относительно независимы...



©2015-2020 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (344)

Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку...

Система поиска информации

Мобильная версия сайта

Удобная навигация

Нет шокирующей рекламы



(0.003 сек.)