Порядок выполнения работы. Включить тумблеры блока питания ЛЭФ-2, блока питания источника – лазера
Включить тумблеры блока питания ЛЭФ-2, блока питания источника – лазера, милливольтметр, подсветку поляризатора – анализатора, модулятор. Положить на предметный столик образец. Отрегулировать столик с образцом таким образом, чтобы отраженный луч падал в центр диафрагмы плеча анализатора (11). Измерения проводятся в двух зонах. Вращая маховички лимбов поляризатора (Р) и анализатора (А), добиться минимума яркости светового пятна на экране приемника. Открыть отверстие в диафрагме перед ЛЭФ-2 для чего следует повернуть круглую ручку по часовой стрелке до щелчка. Вращая одновременно маховички Р и А, добиться минимума напряжения на милливольтметре. Записать в рабочий журнал значение Р и А с экранов световых табло поляризатора и анализатора. Эти значения соответствуют измерениям в одной из двух эллипсометрических зон. Закрыть диафрагму перед ФЭУ. Повернуть поляризатор примерно на (+90о) или (-90о) относительно положения, установленного выше. Далее повторить действия, описанные выше и найти значения Р и А, соответствующие другой эллипсометрической зоне. Дале устанавливаются эллипсометрические зоны таким образом. Если значение А находится в диапазоне 18о45’ ¸ 108о45’, то оно соответствует 1-ой зоне и тогда А®А1, Р®Р1. Если А в диапазоне 108о45’ ¸ 198о45’, измеренные значения Р и А во второй зоне и А®А2, Р®Р2. Эллипсометрический параметр Y находится по формуле: (3) Используя таблицу значений D0 1,2 рассчитать значения параметра D по формуле: , (4) где Р0 – табличное значение, для которого рассчитан D0; D0 1 – табличный параметр эллиптичности D0 для Р0 в первой зоне; D0 2 – табличный параметр эллиптичности D0 для Р0 во второй зоне; Найти среднее значение D по формуле: (5) По общей номограмме определить номер листа номограммы для нахождения показателя преломления (n) и толщины пленки (d). По соответствующему листу номограммы определить показатель преломления пленки, рассчитать значение толщины и записать в журнал.
Содержание отчета
Содержание отчета должно включать: цель работы, описание методики и установки, описание проведения работы, обработку измерений, анализ результатов работы. Анализ результатов работы: - Нахождение значений эллипсометрического параметра D в первой зоне по измеренным Р и А. - Нахождение значений эллипсометрического параметра D во второй зоне по измеренным Р и А. - Расчет значений D и Y. - Определение по номограмме для найденных значений D и Y - параметров пленки n и d (показателя преломления и толщины).
4.5. Контрольные вопросы и задания.
1. Основные области применения метода эллипсометрии в полупроводниковом производстве? 2. Основное уравнение эллипсометрии и способ его решения для системы полупроводник – диэлектрическая пленка? 3. Как меняется состояние поляризации света в процессе прохождения луча от источника до приемника при наличии образца?
Популярное: Как распознать напряжение: Говоря о мышечном напряжении, мы в первую очередь имеем в виду мускулы, прикрепленные к костям ... Генезис конфликтологии как науки в древней Греции: Для уяснения предыстории конфликтологии существенное значение имеет обращение к античной... Почему люди поддаются рекламе?: Только не надо искать ответы в качестве или количестве рекламы... ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (443)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |