Расчет однослойного отражающего покрытия
Рисунок 1.1 Условия идеального отражающего слоя n2×h2 = l0 / 4, n 1<n 2>n 3 , n п =nв n2h2 = λ0/4 ,n2h2 = 560/4 = 140 нм , где: – n 1 - показатель преломления окружающей среды; – n 2 -показатель преломления пленки; – n 3 - показатель преломления подложки; – n в – показатель преломления пленкообразующего материала (с n высоким) – h2 - толщина просветляющего слоя; – l0 – заданная рабочая длина волны. Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра. n 2 = 1,94 - HfO2 (Двуокись гафния) Метод нанесения: ИЭ Тисп. = 277 0 С Тподл. = 300 0 С l1- l2= l1>0.24 Интегральный коэффициент отражения рассчитывается по формуле Френеля: min = = 0,1846 = 18,46%
Рассчитаем энергетический коэффициент отражения системы воздух – пленка – подложка R1,3 = -0,319 =0,127 = -0,2
R1,3 = |r1,3|2 = 0,04
где = При l0 = l ® = На основе полученных данных составим таблицы 4.1 и 4.2 и построим график R1,3 = f (b) (рис. 4.1) и R1,3 = f (l) ( рис. 4.2 ).
Спектральная зависимость R1,3 = f (b) Таблица 4.1
Рисунок 4.1
Спектральная зависимость R1,3 = f (l)
Таблица 4.2
Рисунок 4.2 двухслойное отражающее покрытие n2h2 = n3h3= λ0/4 = 560/4 = 140 нм
n2= nв n3= nн
Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра. n 3 = 1,45 - SiO2 (Двуокись кремния) Метод нанесения: ИЭ Тисп. = 1730 0 С Тподл. = 300 0 С l1- l2= 200 – 800 нм Рассчитаем максимальный коэффициент отражения по формуле: pmax= = 0,226 = 22,6% Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:
= -0,2 где R1,3= |r1,3|2 = 0,04 = При l0 = l ® = На основе полученных данных составим таблицы 4.1 и 4.2 и построим график R1,4 = f (b) (рис. 4.1) и R1,4 = f (l) ( рис. 4.2 ).
Спектральная зависимость R1,4 = f (b) Таблица 4.1
Рисунок 4.1
Спектральная зависимость R1,4 = f (l)
Таблица 4.2
Рисунок 4.2
Трехслойное отражающее покрытие
n2h2 = n3h3= n4h4 =λ0/4 = 560/4 = 140 нм n2= nв n3= nн n4= nв
Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра. n 4 = 1,94 - HfO2 (Двуокись гафния) Метод нанесения: ИЭ Тисп. = 277 0 С Тподл. = 300 0 С l1- l2= l1>0.24
Рассчитаем максимальный коэффициент отражения по формуле: = 0,0625 = 6,25% Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:
= -0,2 где R1,3= |r1,3|2 = 0,04 = При l0 = l ® = На основе полученных данных составим таблицы 4.1 и 4.2 и построим график R1,5 = f (b) (рис. 4.1) и R1,5 = f (l) ( рис. 4.2 ).
Спектральная зависимость R1,5 = f (b) Таблица 4.1
Рисунок 4.1
Спектральная зависимость R1,5 = f (l)
Таблица 4.2
Рисунок 4.2
Популярное: Как выбрать специалиста по управлению гостиницей: Понятно, что управление гостиницей невозможно без специальных знаний. Соответственно, важна квалификация... ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (986)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |