Полученные зависимости
Выходные данные можно получить в виде таблицы: Рис. 1.7 - Получение результатов в виде графика Легко можно выбрать режим термообработки - длительный или импульсный (см.
врезку справа): Далее можно рассчитать удельное сопротивление легированного Рис. 1.8. Выбор режима термообработки поликремния и построить его зависимость от радиуса зерна:
Рис 1.9 Зависимость удельного сопротивления от радиуса зерна
Процесс моделирования лабораторной работы «Рост зерна поликремнияпридлительном и импульсном режимах термообработки» начинается с выбора режима термообработки и задания для него параметров. Для импульсного режима задаются такие параметры, как: начальный радиус зерна, длительность процесса, концентрация примеси и мощность импульса. Для длительного отжига задаются такие параметры, как температура процесса, начальный радиус зерна, концентрация примеси и длительность процесса. Для длительного отжига студент может построить зависимости: 1) радиуса зерна от температуры, 2) конечного радиуса зерна от начального радиуса 3) радиуса зерна от длительности процесса 4) радиуса зерна от концентрации примеси 5) отношение концентраций вакансий всех зарядовых состояний в легированномполикремнии к нелегированному от длительности процесса 6) концентрации активных частиц длительности процесса Для импульсного режима термообработки студент может построить зависимости: 1) радиуса зерна от мощности, 2) конечного радиуса зерна от начального радиуса 3) радиуса зерна от длительности процесса 4) радиуса зерна от концентрации примеси 5) отношение концентраций вакансий всех зарядовых состояний в легированномполикремнии к нелегированному от длительности процесса 6) концентрации активных частиц длительности процесса Структура зерна поликремния характеризуется его средним размером, кристаллографической ориентацией и распределением по размерам. Размер зерна в существенной степени определяет распределение легирующих элементов по его объёму и, в конечном счете, влияет на величину проводимости плёнки поликремния.
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 2
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОПТИМИЗАЦИИ РАЗМЕРА ЗЕРНА И УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНКИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Цель работы: Изучить механизмы формирования структуры пленки поликристаллического кремния (поликремния) в процессе постэпитаксиальной обработки. Оценить влияние технологических факторов обработки (исходное состояние, длительность, температура), на этот процесс, изучить способы управления удельным сопротивлением плёнок.
Популярное: Почему двоичная система счисления так распространена?: Каждая цифра должна быть как-то представлена на физическом носителе... Почему человек чувствует себя несчастным?: Для начала определим, что такое несчастье. Несчастьем мы будем считать психологическое состояние... Как вы ведете себя при стрессе?: Вы можете самостоятельно управлять стрессом! Каждый из нас имеет право и возможность уменьшить его воздействие на нас... ![]() ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (722)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |