Мегаобучалка Главная | О нас | Обратная связь  


Инфракрасные твердотельные фотоприемные устройства




Поможем в ✍️ написании учебной работы
Поможем с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой

Типы приемников ИК - излучения

ТепловыеприемникиИК-излучения:

1. Создающие термо-ЭДС при нагревании их падающим ИК-излучением (термоэлементы, термопары)

2. Изменяющие свои электрические свойства при колебаниях температуры приемной площадки (болометры и пироэлектрические приемники)

Фотонные приемники ИК-излучения:

Фотонные приёмники излучения обеспечивают преобразование падающего потока фотонов в электрический сигнал за счет непосредственного взаимодействия фотонов с электронной подсистемой материала приёмника

1. На внешнем фотоэффекте (фотоэлементы, фотоумножители,

электронно-оптические преобразователи)

2. На внутреннем фотоэффекте (фоторезисторы, фотодиоды, фототранзисторы, QWIP-фотоприемники).

Основные материалы: AlGaAs/GaAs, GaAs/InGaAs

Рис. 4. Энергетические зоны на границе двух п/п – гетероструктуре. Указаны границы зоны проводимости, валентной и запрещенной зоны. Высота барьера в гетероструктуре AlxGa1- xAs/GaAs определяется значением X.

 

Рис. 5. Фотопроводимость в системе КЯ:

(а) – туннелирование под воздействием внешнего электрическом поле (темновой ток)

(b) – фотопроводимость при облучении



 

Планарный этап:

Результат:

ЛИТОГРАФИЯ
2.6 Современные методы литографии.

Оптическая
Рентгеновская ∆=0.1…10nm
Электронная ∆=0.1nm
Ионная-лучевая
Стандартная
Дальний УФ ∆=200…300nm  
Контактная
Бесконтактная


На микрозазоре
Проекционная


Требования к литографической системе:

• контроль критического размера;

• точность совмещения;

• эффективность затрат;

• технологическая гибкость;

• совместимость с другими экспонирующими системами.

 

Основные этапы фотолитографии:

• Нанесение резиста

Центрифугирование, распыление, окунание, полив, электростатическое нанесение, вакуумное осаждение вслучае нанесения покрытий без растворителя, нанесение сухого резиста-ламинирование.

• Сушка резиста

В процессе нанесения фото резиста происходит частичное испарение растворителя, однако значительная часть растворителя остается в слое фоторезиста.

• Совмещение рисунка на подложке с рисунком шаблона

• Экспонирование резиста

• Проявление

Процесс проявления состоит в воспроизводимом и контролируемом удалении резиста с экспонированного (позитивный) или неэкспонированного(негативный) участка со скоростью, превышающей скорость удаления остального резиста.

• Задубливание

Задубливание представляет собой нагрев пленки резиста, в ходе которого в резисте происходят физические и химические реакции.

• Удаление резиста

Удаление защитного рельефа с подложки можно осуществить следующим и способами: химическим и плазменным. Способ удаления резиста должен обеспечивать быстрое и качественное удаление резиста.

Рис. 6.Типы литографии.

 

Электронно-лучевая литография

Формы луча и системы сканирования

Растровая Векторная
Используется как позитивный, так и негативный резист Преимущественно позитивный резист
Относительно низкая стоимость Необходимы высококачественные отклоняющие системы
Возможно применение луча диаметром 1нм Диаметр пятна ограничен
Низкое быстродействие Большее быстродействие, возможно прямое экспонирование на пластине
Коррекция эффектов близости затруднена Коррекция эффектов близости относительно проста

 

Рассеяние электронов: прямое и обратное.

Прямое рассеяние: очень часто, малые углы, генерация вторичных электронов с кинетической энергией в несколько электронвольт

Обратное рассеяние: не очень часто, большие углы, высокие кинетические энергии вторичных электронов




Читайте также:
Личность ребенка как объект и субъект в образовательной технологии: В настоящее время в России идет становление новой системы образования, ориентированного на вхождение...
Как распознать напряжение: Говоря о мышечном напряжении, мы в первую очередь имеем в виду мускулы, прикрепленные к костям ...
Почему двоичная система счисления так распространена?: Каждая цифра должна быть как-то представлена на физическом носителе...



©2015-2020 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (1082)

Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку...

Система поиска информации

Мобильная версия сайта

Удобная навигация

Нет шокирующей рекламы



(0.007 сек.)
Поможем в написании
> Курсовые, контрольные, дипломные и другие работы со скидкой до 25%
3 569 лучших специалисов, готовы оказать помощь 24/7