Типовые схемы вакуумных установок
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ…………………………………………………. 1 Типовые схемы вакуумных установок…………………... 2 Выбор вакуумного насоса………………………………... 3 Выбор приборов для измерения давлений в вакуумной системе………………………………………….. 4 Расчет натекания в вакуумную систему………………… 5 Методы течеискания……………………………………… 6 Описание технологии течеискания с помощью выбранного течеискателя………………………………….. ЛИТЕРАТУРА………………………………………............. ВВЕДЕНИЕ В настоящее время вакуумную технику широко используют в различных отраслях промышленности для обеспечения технологических процессов или обеспечения работы установок различного назначения, а также в установках для имитации космических условий, ускорителях элементарных частиц. Разработка новых технологических процессов, обеспечивающих техническое перевооружение основных отраслей производства, тесно связано с вакуумной техникой. Новые типы полупроводниковых структур, особо чистые материалы, сплавы, специальные покрытия изготавливаются в вакууме. Вакуум является идеально чистой технологической средой, в которой можно осуществить электрохимические и электрофизические процессы при изготовлении изделий микроэлектроники. Одним из важнейших условий получения и сохранения заданной среды в рабочих объемах различных вакуумных систем является герметичность их конструкций. В вакуумной технике герметизация осуществляется ради получения и сохранения необходимого вакуума. Контроль герметичности относится к числу испытаний необходимых для нормального функционирования вакуумных систем. Под герметичностью понимают непроницаемость конструкций для газов и жидкостей. Абсолютная герметичность недостижима, поэтому герметичными считают конструкции, газовый или жидкостный обмен через которые достаточно мал для того, чтоб мешать нормальному процессу их работы. Требования к степени герметичности устанавливаются исходя из назначения конструкций и условий работы вакуумной системы. Нарушение герметичности конструкций определяется наличием течи или проницаемостью отдельных элементов. Природа проницаемости отдельных элементов и конструкций может быть различна. Течь - это свободный от посторонних включений канал или пористый участок конструкции, через который могут проникать газы и жидкости. Проницаемость – это свойство самого материала пропускать различные жидкости и газы ( носит избирательный характер: кварцевое стекло проницаемо только для гелия). Проникновение газов и жидкостей через течи происходит гораздо быстрее, чем через сплошной материал. Поэтому обнаружение обоих видов нарушения герметичности одновременно исключено. При контроле герметичности решается только одна задача: обнаружение течи. Поскольку формы и размеры каналов течи разнообразны, их принято характеризовать количеством протекающих через них газообразных или жидких веществ в единицу времени. При заданной температуре расход (поток) газа через течь измеряется в м3 Па/с или в Вт. Это равенство характеризующее количество газа при нормальной температуре как как произведение его давления на занимаемый объем, кроме того оно может характеризоваться как запасенная в данном газе энергия. Задача курсовой работы –выбор метода течеискания. Нам на данный момент времени известны следующие методы: · Манометрический метод. · Масспектрометрический метод. · Жидкостный метод. · Галогенный метод. · Искровой метод. · Электрозахватный метод. · Катарометрический метод. Типовые схемы вакуумных установок Среди большого количества вакуумных систем, используемых в производстве и научных исследованиях, можно выделить несколько типовых систем, предназначенных для получения низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. Для принципиальных схем вакуумных установок пользуются условными обозначениями, приведенными в ГОСТ 2.796-95. В данной курсовой работе применяются установки среднего и высокого вакуума. На рисунках 1.1 и 1.2 представлены вакуумные схемы для получения среднего и высокого вакуума соответственно. 1 – насос предварительного разряжения; 2,3,6,14,15,17,18,19 – вакуумные клапаны; 4,5,12,20 – манометры; 5 – ловушка; 7 – насос для получения среднего вакуума; 9 – электрический ввод; 10 – ввод движения; 11 – вакуумная камера; 13- газоанализатор; 16 – гигроскопатор Рисунок 1.1 – Вакуумная система для получения низкого и среднего вакуума (105…10-2 Па) 1 – насос для получения низкого вакуума; 2,5,15,16,17,19,20,21,24,27 – клапаны, 3,8,25 – ловушки; 4 – форвакуумный баллон4 6,12,13,22,23,28 – манометры; 7 – насос для получения высокого вакуума; 9 – ввод движения; 10 – электрический ввод; 11 – вакуумная камера; 14 – газоанализатор; 18 – гигроскопатор; 26 – насос для получения среднего вакуума Рисунок 1.2 - Вакуумная система для получения низкого и среднего вакуума (105…10-5 Па)
Популярное: Личность ребенка как объект и субъект в образовательной технологии: В настоящее время в России идет становление новой системы образования, ориентированного на вхождение... Как выбрать специалиста по управлению гостиницей: Понятно, что управление гостиницей невозможно без специальных знаний. Соответственно, важна квалификация... ©2015-2020 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (5380)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |