Выбор высоковакуумного насоса
В соответствии с условием для высоковакуумной откачки предварительно предварительно выбираем турбомолекулярный насос с предельным давлением Рпр =10-7 Па и диапазоном быстроты действия от 0,1 до 18 м3/с. При выборе насосов можно использовать следующие источники: [1], [2], [4], [5], [6], [7]. Определяем по формуле 2.1 эффективную быстроту откачки камеры:
Определяем по формуле 2.2 номинальную быстроту откачки высоковакуумного насоса:
Сравним быстроту откачки давлений по воздуху в диапазоне 1·10-2 – 1·10-4 Па
400 л/с=0,4 м3/с>0,277 м3/с.
Так как полученное значение меньше приведенного в таблице значения, то окончательно выбираем турбомолекулярный насос АТР 400 и выписываем его основные характеристики (таблица 2.1).
Таблица 2.1 – Основные характеристики АТР-400
Турбомолекулярный насос АТР 400 представлен на рисунке 2.3:
Рисунок 2.3 – Общий вид насоса АТР 400 Турбомолекулярный насос серии АТР представляет собой молекулярный насос, на валу ротора которого закреплены диски с лопатками, вращающиеся между соответствующими дисками статора. Турбомолекулярные насосы серии АТР выпускаются в трех исполнениях: - общего применения - химстойкого (с индексом «С») - химстойкого высокого давления (с индексом «НРС»). В турбомолекулярных насосах серии АТР ротор насоса закреплен с применением керамических подшипников, обеспечивающих очень длительную эксплуатацию. Ротор вращается на рабочем режиме с относительно невысокой скоростью (27000 об/мин), что обеспечивает турбомолекулярному насосу существенно больший ресурс. Рабочее положение турбины в пространстве - произвольное. Задачи, в которых традиционно используют турбомолекулярные насосы серии АТР общего применения: • имитация космоса • напыление тонких пленок • вакуумирование электронных ламп • сверхвысоковакуумные установки • ускорители частиц • ионные источники • поверхностный анализ • масс-спектрометрия • электронный сканирующий микроскоп • течеискание Принцип работы турбомолекулярного насоса: В режиме молекулярного течения газа молекулы из откачиваемого объёма по достижении ими естественным путем входного фланца турбины захватываются системой вращающихся дисков ротора и неподвижных дисков статора. Благодаря наличию спрофилированных каналов в обоих видах дисков, захваченные молекулы направляются в направлении выхлопа насоса (рисунки 2.4-2.5).
Рисунок 2.4 – Вид в сечении турбомолекулярного насоса
Рисунок 2.5 – Турбомолекулярные насосы серии ATP. Габаритные размеры, мм (дюймы)
Популярное: Почему стероиды повышают давление?: Основных причин три... Организация как механизм и форма жизни коллектива: Организация не сможет достичь поставленных целей без соответствующей внутренней... Модели организации как закрытой, открытой, частично открытой системы: Закрытая система имеет жесткие фиксированные границы, ее действия относительно независимы... ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (1973)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |