Стандарты в нанометрологии
Для обеспечения нормативной базы нанометрологии, разработаны и введены в действие более 15-ти российских стандартов, в том числе: 1. ГОСТ Р 8.628–2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления». 2. ГОСТ Р 8.629–2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки». 3. ГОСТ Р 8.630–2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки». 4. ГОСТ Р 8.631–2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки». 5. ГОСТ Р 8.635–2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки». 6. ГОСТ Р 8.636–2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки». 7. ГОСТ Р 8.644–2008 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки». 8. ГОСТ 8.591–2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки». – Межгосуд. ст-т - СНГ 9. ГОСТ 8.592–2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления». – Межгос. ст-т - СНГ 10. ГОСТ 8.593–2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки». – Межгосуд. ст-т - СНГ 11. ГОСТ 8.594–2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки». – Межгос. ст-т - СНГ 12. ГОСТ Р 8.696–2010 «Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах и распределение интенсивностей в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронного дифрактометра». 13. ГОСТ Р 8.697–2010 «Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа». 14. ГОСТ Р 8.698–2010 «Государственная система обеспечения единства измерений. Размерные параметры наночастиц и тонких пленок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра». 15. ГОСТ Р 8.700–2010 «Государственная система обеспечения единства измерений. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа». Дадим краткую характеристику первых стандартов. 1. ГОСТ Р 8.628-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления. Для проведения линейных измерений в диапазоне от 10-9 до 10-6 м используют растровые электронные или сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее — микроскопы). Для их поверки и калибровки применяют материальные носители единицы длины (далее — меры), размеры элементов которых определяют, используя стабилизированное по частоте лазерное излучение. Длину волны лазерного излучения поверяют с помощью эталона длины. На практике в качестве мер применяют рельефные меры нанометрового диапазона (далее — рельефные меры), представляющие собой пластину из монокристаллического кремния, на поверхности которой сформированы элементы рельефа определенной геометрической формы с размерами основных элементов не более от 10-6 м. В основе технологического процесса создания рельефных мер лежит использование анизотропного травления монокристаллического кремния: скорость травления в направлении одной из кристаллографических плоскостей в кристаллической структуре кремния в несколько тысяч раз превышает скорость травления в направлении другой кристаллографической плоскости. Угол между кристаллографическими плоскостями определен кристаллической структурой кремния. В результате формируются пространственные геометрические фигуры с известным углом наклона между боковыми стенками и основаниями. Ориентацию рабочей поверхности пластины, на которой формируются элементы рельефа, определяют рентгеновским дифракционным методом по методике, установленной в ГОСТ 19658—81. Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее — рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м. Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. 2. ГОСТ Р 8.629-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м. Стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. Межповерочный интервал рельефной меры — один год. 3. ГОСТ Р 8.630-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки. Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа — один год. 4. ГОСТ Р 8.631-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10–9 до 10–6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ — 6 мес. 5. ГОСТ Р 8.635-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки. Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее – микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10–9 до 10–6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. 6. ГОСТ Р 8.636-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки. Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее – РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10–9 до 10–6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. 7. ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10–9 до 10–6 м. Стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер. После 2010 года были приняты ещё несколько нанотехнологических стандартов, таких как ГОСТ Р 54336-2011, ГОСТ Р 54337-2011, ГОСТ Р 54338-2011, относящихся к «Системам экологического менеджмента в организациях, выпускающих нанопродукцию», ГОСТ Р 54617.1-2011, ГОСТ Р 54617.2-2011, посвящённых «Менеджменту риска в наноиндустрии» и другие, которые не относятся к группе стандартов «Государственной системы обеспечения единства измерений». Для решения научно-технической проблемы обеспечения единства измерений в нанотехнологиях необходимо осуществить ряд научно-методических, технических и организационных мероприятий. В первую очередь, это создание новой структурной схемы передачи размера единиц физических величин от первичных эталонов рабочим средствам измерений. Она исключает многоступенчатость передачи. В этот комплекс мероприятий входят: - фундаментальные исследования механизмов взаимодействия зондов измерительных систем с объектом измерения; - разработка новых алгоритмов измерений и соответствующего им математического обеспечения, учитывающего влияние взаимодействия рабочего средства измерений с измеряемым объектом; - создание новых мер – материальных носителей размера, обладающих свойствами, аналогичными свойствам вторичного эталона и измеряемого объекта; - разработка и создание стандартных образцов состава, структуры и рельефа поверхности и стандартизованных методик измерений в нанометрии, обеспечивающих прослеживаемость передачи размера единицы физической величины от эталона рабочим средствам измерений в нанометровый диапазон без существенной потери точности для аттестации, калибровки и поверки средств измерений.
Популярное: Как выбрать специалиста по управлению гостиницей: Понятно, что управление гостиницей невозможно без специальных знаний. Соответственно, важна квалификация... Генезис конфликтологии как науки в древней Греции: Для уяснения предыстории конфликтологии существенное значение имеет обращение к античной... Как построить свою речь (словесное оформление):
При подготовке публичного выступления перед оратором возникает вопрос, как лучше словесно оформить свою... Организация как механизм и форма жизни коллектива: Организация не сможет достичь поставленных целей без соответствующей внутренней... ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (708)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |