Технологические особенности изготовления многослойных
Керамических подложек Процесс изготовления многослойной керамики состоит из сле- - подготовки исходных материалов; - приготовления сырых керамических лент; - штамповки листов и пробивки отверстий; - металлизации; - формирования многослойной заготовки; - спекания монолитной структуры. Керамические ленты чаще всего получают методом холодного литья. В качестве материала основания, на котором формируется керамическая лента, можно рекомендовать: стекло, майлар, тефлон, сталь. Непосредственно после сушки трудно обеспечить заданную толщину и плотность ленты. Поэтому после литья ленты прокаты- Для улучшения технологических характеристик суспензия может Керамические ленты напоминают по эластичности обработан- Сборка сырой многослойной заготовки состоит в том, что листы Спекание структуры керамика - металл - органическое свя- При проектировании гибридных БИС наблюдается тенденция использовать диэлектри-ческую подложку как элемент корпуса. Это связано со стремлением уменьшить массу, размеры и тепловое сопротивление конструкции. Поэтому при выборе материала учитывают не только его тепловые, но и механические свойства. Для изготовления многослойных подложек чаще всего применяют чистую окись алюминия или окись бериллия. Хотя окись бе При выборе материала проводника учитывают его совместимость - температура плавления металла должна быть выше темпера - коэффициенты линейного расширения и усадки должны быть - прочность сцепления металла с керамикой должна быть Прочность сцепления металла с керамикой можно не принимать
Таблица 2.8
В процессе термообработки керамика и металл не должны химически взаимодействовать ни между собой, ни с окружающей средой, чтобы исключить потери материалов за счет испарения летучих соединений, а также избежать ухудшения конструктивных и электрофизических характеристик изделия. Для сохранения металлических свойств нанесенного слоя необходима восстановительная или нейтральная среда. Состав среды оценивают термодинамическим расчетом равновесия всех возможных химических реакций в системе керамика - металл - среда. После того как керамический материал выбран с учетом указанных условий, подбирают полупроводниковый материал. При этом следует иметь в виду, что объемное сопротивление спеченного металла может оказаться больше минимально достижимого (указанного в паспорте на пасту). Это объясняется тем, что завершенность процесса спекания определяется по состоянию керамики, в то время как металл еще имеет значительную пористость. Учет перечисленных требований налагает жесткие ограничения на выбор системы керамика - металл и сужает номенклатуру применяемых материалов. Совместно с керамикой на основе окиси алюминия чаще всего применяют молибден или вольфрам. В настоящее время технология многослойной керамики широко внедрена в производстве керамических корпусов ИС и многослойных керамических подложек гибридных БИС. Высокая теплопроводность, механическая прочность и химическая стойкость спеченной окиси алюминия в широком диапазоне температур определяет высокую надежность конструкции. Относительно толстые изолирующие слои (100 мкм и более) обеспечивают незначительную паразитную связь и высокую электрическую прочность. Удельное поверхностное сопротивление проводников из тугоплавких металлов при толщине 10...15 мкм не превышает 0,03 Ом·см. В зависимости от выбранного керамического материала наружный проводящий слой может быть сформирован как методами трафаретной печати, так и методами тонкопленочной технологии. В последнем случае на подложке можно получать в едином технологическом цикле резисторы и конденсаторы, т.е. всю пассивную часть ГИС. При проектировании многослойных керамических подложек следует учитывать ограничения, обусловленные современным уровнем технологии, приведенные в таблице 2.9.
Таблица 2.9
Популярное: Как распознать напряжение: Говоря о мышечном напряжении, мы в первую очередь имеем в виду мускулы, прикрепленные к костям ... Как построить свою речь (словесное оформление):
При подготовке публичного выступления перед оратором возникает вопрос, как лучше словесно оформить свою... Почему стероиды повышают давление?: Основных причин три... ©2015-2024 megaobuchalka.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. (1207)
|
Почему 1285321 студент выбрали МегаОбучалку... Система поиска информации Мобильная версия сайта Удобная навигация Нет шокирующей рекламы |