Полученные зависимости

Выходные данные можно получить в виде таблицы:

Рис. 1.7 - Получение результатов в виде графика

Легко можно выбрать режим термообработки - длительный или импульсный (см.

Далее можно рассчитать удельное сопротивление легированного

Рис. 1.8. Выбор режима термообработки

поликремния и построить его зависимость от радиуса зерна:

Рис 1.9 Зависимость удельного сопротивления от радиуса зерна

Процесс моделирования лабораторной работы «Рост зерна поликремнияпридлительном и импульсном режимах термообработки» начинается с выбора режима термообработки и задания для него параметров. Для импульсного режима задаются такие параметры, как: начальный радиус зерна, длительность процесса, концентрация примеси и мощность импульса. Для длительного отжига задаются такие параметры, как температура процесса, начальный радиус зерна, концентрация примеси и длительность процесса.

Для длительного отжига студент может построить зависимости:

1) радиуса зерна от температуры,

2) конечного радиуса зерна от начального радиуса

3) радиуса зерна от длительности процесса

4) радиуса зерна от концентрации примеси

5) отношение концентраций вакансий всех зарядовых состояний в легированномполикремнии к нелегированному от длительности процесса

6) концентрации активных частиц длительности процесса

Для импульсного режима термообработки студент может построить зависимости:

1) радиуса зерна от мощности,

2) конечного радиуса зерна от начального радиуса

3) радиуса зерна от длительности процесса

4) радиуса зерна от концентрации примеси

5) отношение концентраций вакансий всех зарядовых состояний в легированномполикремнии к нелегированному от длительности процесса

6) концентрации активных частиц длительности процесса

Структура зерна поликремния характеризуется его средним размером, кристаллографической ориентацией и распределением по размерам. Размер зерна в существенной степени определяет распределение легирующих элементов по его объёму и, в конечном счете, влияет на величину проводимости плёнки поликремния.

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 2

КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОПТИМИЗАЦИИ РАЗМЕРА ЗЕРНА И УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНКИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Цель работы: Изучить механизмы формирования структуры пленки поликристаллического кремния (поликремния) в процессе постэпитаксиальной обработки. Оценить влияние технологических факторов обработки (исходное состояние, длительность, температура), на этот процесс, изучить способы управления удельным сопротивлением плёнок.